12寸8区抛光头

12寸8区抛光头

技术参数

产品名称

12寸8区抛光头

晶圆尺寸

12"

技术节点

≥5nm

适用工艺

ILD、STI、OXIDE、W、CU,etc

产品优点

自研自产、多区控制、运行稳定 可根据需求客制化定制

分区数量

8zone

源生产地

中国