CMP整体解决方案
8寸保持环
涵盖一体式与粘结式两类结构。一体式结构依托整体成型工艺，具备高结构刚性、良好热传导性及优异平面度，可保障高压CMP工艺中环-垫接触状态的稳定性；粘结式结构通过PEEK/PET/PPS等多材质复合设计，实现晶圆边缘区域的应力缓冲与机械保护，有效抑制边缘微划伤及颗粒残留。产品提供PEEK、PET与PPS等多种材质选项，可依据工艺压力、热负荷及成本目标灵活选型。
了解更多
12寸保持环
涵盖通用型与一体式包钢型两类结构，专为300 mm晶圆CMP高精度工艺设计。通用型采用PEEK/PET/PPS材质，适配高转速工况，其低动摩擦系数与长服役寿命可保障工艺重复性；粘结界面经密封强化处理，可有效阻断抛光液渗入环体内部，从而抑制晶圆边缘缺陷，支撑良率提升与运营成本优化；一体式包钢型以PEEK为基体、嵌入高强度金属骨架，大幅提高环体抗变形能力与耐磨寿命（达传统产品的3倍），属国内首创结构，支持按客户工艺窗口定制化开发。
了解更多
联系方式
上海润平：86-021-6191 9180
宁波润平：86-574-6295 0866
上海润平：中国(上海)自由贸易试验区临港新片区云淡路33号1号厂房
宁波润平：浙江省余姚市凤山街道兵马司路1608号403室
关注润平
