CMP整体解决方案

CMP清洗刷

CMP清洗刷

CMP清洗刷作为晶圆后清洗的关键耗材,采用高纯度PVA(聚乙烯醇)材料,结合改性开孔发泡工艺与兆声能量协同技术制成。在晶圆后清洗过程中,刷头通过微孔结构的物理刮扫与兆声波的空化效应,高效去除晶圆表面附着的抛光液颗粒、残留化学物等,同时避免二次污染,实现纳米级洁净度的均匀表面处理。
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