CMP清洗刷

CMP清洗刷

技术参数

参数类别

典型值/范围

技术节点

14nm~95nm

适用工艺

OX/CU/W

材料

高纯度聚乙烯醇（PVA）

硬度

20-50 Shore A（可定制）

孔隙率

80%-120%（影响吸附与排水性能，可定制）

耐温范围

10°C~60°C（持续工作温度）

PH 耐受范围

4~10（耐酸碱抛光液）

晶圆适配

4/6/8/12 英寸

洁净标准

Class 100 级无尘室生产，符合 SEMI 标准

源生产地

中国
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