12寸5区抛光头

12寸5区抛光头

技术参数

产品名称

12寸5区前段抛光头

12寸5区后段抛光头

晶圆尺寸

12"

12"

技术节点

≥28nm

≥28nm

适用工艺

ILD、STI、OXIDE，etc

W、CU

产品优点

自研自产、多区控制、运行稳定 可根据需求客制化定制

自研自产、多区控制、运行稳定 可根据需求客制化定制

分区数量

6zone

6zone

源生产地

 中国

中国
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